高溫真空爐是指熱處理工藝的全部和部（bù）分在真空狀態下（xià）進行的。我國將真（zhēn）空劃分為低、中、高和超高（gāo）真空（kōng）。目前大多數（shù）真空熱處理爐的工（gōng）作真空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。 高（gāo）溫真空爐（lú）幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實（shí）現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可（kě）以進行真空釺焊、燒結、表麵處理等。真空（kōng）熱處（chù）理爐熱（rè）效率高，可實現快速升溫和（hé）降溫，可實現無（wú）氧化、無脫碳、無滲碳，可（kě）去掉工件表麵的（de）磷屑，並有脫脂除氣等作用，從而達到表（biǎo）麵光亮淨化的效果。一般來說，被處理的工件在爐（lú）內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而（ér）變形小。產品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從（cóng）而提（tí）高了工（gōng）作的機械（xiè）性能和使用壽命（mìng）。工作環境好，操作安全，沒有汙染和公（gōng）害。被處理的工件沒有氫脆危險，對鈦材（cái）和難熔金屬殼防止表麵氫脆，真空熱處理工藝（yì）的穩定性和重複（fù）性好（hǎo）。這一係列的（de）優（yōu）點，開發（fā）真空熱處理設備和工藝被越來越重視和應用越來越廣