高溫電爐（lú）真空係統

高溫電爐中直空係統適用（yòng）幹真空度在3X10~~1333Pa範圍的真空熱處

理爐。中真空係統在（zài）真空熱處理爐中應用最廣泛，其通常由兩級（jí）真空

泵機（jī）組組成。初（chū）級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械

增壓泵(羅茨泵)或油（yóu）增壓泵

高溫電爐（lú）高真空係（xì）統

高真空係統（tǒng）適（shì）用於真空度在6.6x10~~1333X10。Pa範圍的

高溫電爐真空熱處理爐（lú），如真空退火爐、真空釺焊爐，通常由三級真空（kōng）泵機組（zǔ）

組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵（bèng）大都（dōu）也是采用旋轉機

械泵或滑閥式機械泵。