ITO導電膜玻璃製作流程
ITO導(dǎo)電膜玻璃的生產工藝流程可分為觸摸屏以及(jí)LCD兩類(lèi),其中LCD用ITO導電膜玻璃對(duì)AR玻璃除了增加(jiā)TiO2、Nb2O5等多級鍍膜流程外(wài),還要改變工藝過程相關參數(shù)的控製標準。同時,由於產品規格不同,尤其是核心技術指標透過率、膜層電導率要求的(de)不(bú)同,對導電玻璃膜層結構、鍍膜(mó)流程以(yǐ)及鍍膜技術要求也不盡相同。核心流程為:(1)切割、磨邊:將采購的大片超薄玻璃(LCD顯(xiǎn)示行(háng)業大都使用的是厚度1.1mm以下的超薄(báo)玻璃)按客戶需要切(qiē)割成相應的尺寸,再將玻璃磨邊倒角,以(yǐ)便後續工序中的操作安(ān)全和(hé)準確定位。
(2)原玻璃檢(jiǎn)驗:將切割、磨(mó)邊後(hòu)的玻(bō)璃進行表觀質量(劃傷、點缺陷、磨邊質量、幾何尺寸等)檢驗,將不符合要求(qiú)的玻(bō)璃挑出(chū)。(3)清洗:電子玻璃對表觀的要求非常高,需要在淨化環境中進行(háng),因此在進行(háng)真空鍍膜前,需將切(qiē)割磨邊好的玻璃進行清洗。玻璃基板的清洗工藝流程為:清洗液滾刷清洗→清洗液盤刷清洗→純淨水滾刷清洗→純淨水盤刷清(qīng)洗→純淨水噴淋→熱風吹幹→送入超淨間。經表觀檢驗合格(gé)後,作(zuò)為鍍膜使用。(4)真空鍍(dù)膜:將清洗後檢(jiǎn)驗合格的玻璃裝上鍍膜車架,送入真空鍍膜機進行鍍膜。真空鍍膜的工藝流程(chéng)為:玻璃裝(zhuāng)片→根據產(chǎn)品要求調整設備工作參數(靶電壓、電流、溫度、工作(zuò)節拍)→鍍SiO2薄膜→鍍ITO薄膜→卸片。(5)成品檢驗:根據產品質量標準,逐片(piàn)檢查成(chéng)品表觀質量,電氣性能參數,並采用抽樣檢驗(yàn)的方法,將檢驗好的玻璃按客戶要求包裝,並做好標示,便於質量(liàng)追蹤(zōng)檢查。